专利详情

专利名称	一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法
申请号	CN201310360950.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103400904A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	贾锐;邢钊;陈晨;张巍;张代生;金智;刘新宇
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法至一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种制备晶体硅双发射极背结背接触太阳能电池的方法，包括:在硅片背面整面硼离子注入形成背面发射区;背面沉积碱腐蚀阻挡层;在背面阻挡层上开出BSF窗口，腐蚀去除BSF窗口处的碱腐蚀阻挡层;碱腐蚀去除背面BSF窗口处的硼注入层;在硅片前表面沉积一层薄的扩散过滤层;双面磷扩散同时形成BSF和FSF；去除背面的碱腐蚀阻挡层和前表面的扩散过滤层;硼离子注入激活;制备前表面减反层和背面钝化层;制备背面发射区电极和BSF电极;烧结实现电极的欧姆接触。本发明在工艺上得到了简化，性能上也得到了提升，对于双发射极背结背接触电池的产业化前景具有很大的裨益。