一种芯片型表面等离子体光谱仪
- 申请号：CN201310359206.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN103398989A
- 公开(公开)日：2013.11.20
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种芯片型表面等离子体光谱仪 | ||
| 申请号 | CN201310359206.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103398989A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邓启凌;夏良平;庞辉;史立芳;杜春雷 |
| 主分类号 | G01N21/63(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/63(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种芯片型表面等离子体光谱仪 至一种芯片型表面等离子体光谱仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种芯片型表面等离子体光谱仪，由金属干涉结构及光电探测器阵列组成。金属干涉结构由纳米级厚度的金属膜构成，其上有一条通缝和若干沟槽，每一沟槽与通缝的间距逐渐增大，光电探测器阵列位于金属干涉结构下方，两者组合后构成芯片型表面等离子体光谱仪。本发明形成的光谱仪分光结构为纳米量级薄膜，解决了光谱仪向芯片尺度小型化的难题。 | ||
交易流程
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