专利详情

专利名称	用于超大口径光学加工的静压支撑装置
申请号	CN201310339253.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103394983A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	胡海飞;罗霄;郑立功;张学军
主分类号	B24B13/005(2006.01)I	IPC主分类号	B24B13/005(2006.01)I
专利有效期	用于超大口径光学加工的静压支撑装置至用于超大口径光学加工的静压支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种用于超大口径光学加工的静压支撑装置，属于静压支撑技术领域。该装置包括活塞、垫片、滚动膜片、膜片压片、缸体盖、缸体径向限位结构、丝堵、受力体径向限位结构、密封圈和缸体上限位结构，所述的活塞侧表面设置水平竖直式中心孔，缸体径向限位结构与活塞的垂直中心孔连接，垫片与缸体盖通过滚动膜片连接，滚动膜片设置膜片压片，活塞通过螺孔与滚动膜片和膜片压片连接，缸体盖顶部中心设置沉孔、螺纹盲孔和排气孔，受力体径向限位结构设置在缸体盖的沉孔内，缸体上限位结构与垫片连接，丝堵设置在螺纹盲孔内，用于压紧置于螺纹盲孔中的密封圈。该装置自平衡性好、成本低、具有较高的光学加工支撑精度。