消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法
- 申请号：CN201310309858.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103399414A
- 公开(公开)日：2013.11.20
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法 | ||
| 申请号 | CN201310309858.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103399414A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱菁;张方;葛丹丹;黄惠杰 |
| 主分类号 | G02B27/42(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/42(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法 至消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法，在衍射光学元件的前面或后面放置一块表面垂直于光束传输方向的散射片，所述的散射片输出的半孔径角与所述衍射光学元件输出的半孔径角相同。本发明可应用于光刻机照明系统中，实现对光刻机传统、二极、四极照明模式下衍射零级的消除。 | ||
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