专利详情

专利名称	CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法
申请号	CN201310315171.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103395000A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	王佳;范斌;万勇建;施春燕;卓彬;孟凯
主分类号	B24B49/00(2012.01)I	IPC主分类号	B24B49/00(2012.01)I
专利有效期	CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法至CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法，所述方法的步骤如下：步骤S1：利用光学元件抛光前后的功率谱密度函数PSDbef、PSDaft，构建出平滑谱函数H与PSDaft、PSDbef的公式(1)PSDaft＝(1-H)(1-H)·PSDbef，其中(1-H)为(1-H)的共轭，*为求共轭的运算符；步骤S2：根据复数运算法则，对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数表达式(2)PSDaft＝\|(1-H)\|2·PSDbef；步骤S3：由于平滑谱函数H为去除函数归一化后的傅里叶变换，所以根据\|H\|＜1，求解公式(2)，构建出平滑谱函数H的公式(3)公式(3)将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为频率的归一化函数，利用抛光前后得到的PSDbef、PSDaft计算平滑谱函数曲线，根据平滑谱函数曲线值的大小来评价CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的大小。