专利详情

专利名称	一种固态超薄膜吸收光谱测量方法及相应的光谱测量装置
申请号	CN201210146948.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103389278A	公开（授权）日	2013.11.13
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	祁志美;叶魏涛;逯丹凤;陈方
主分类号	G01N21/31(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/31(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I;G01J3/447(2006.01)I
专利有效期	一种固态超薄膜吸收光谱测量方法及相应的光谱测量装置至一种固态超薄膜吸收光谱测量方法及相应的光谱测量装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种测量固态超薄膜吸收光谱的方法及相应的光谱测量装置。本发明将被测试的固态超薄膜淀积在光波导导波层局部表面上，通过改变固态超薄膜上方介质的折射率而使分布在固态超薄膜内部的波导光能量发生变化，从而改变固态超薄膜对导波光的吸收，由此获得固态超薄膜的吸收光谱。本发明灵敏度高，操作简单，测量时间短，不仅能够用于分析固态超薄膜光谱的偏振依赖性和界面依赖性，还可用于制作化学和生物传感器。