专利详情

专利名称	支撑高度可调式光学元件多点支撑结构
申请号	CN201310322942.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103389554A	公开（授权）日	2013.11.13
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	赵磊;杨怀江;隋永新;张德福;王汝冬
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	支撑高度可调式光学元件多点支撑结构至支撑高度可调式光学元件多点支撑结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	支撑高度可调式光学元件多点支撑结构，属于光机结构设计与装调领域，该结构包括光学元件、镜框和多个柔性支撑组件，所述多个柔性支撑组件均布固定在镜框内部圆周面上，所述光学元件设置在多个柔性支撑组件上；所述柔性支撑组件由柔性支撑块、微分头和恢复力弹簧组成，所述微分头固定在柔性支撑块上部，恢复力弹簧固定在柔性支撑块上部，且位于正对微分头的方向；柔性支撑块为平面柔性四连杆机构，当微分头水平运动时，通过柔性四连杆机构将水平运动转换成上部连杆的轴向运动，进而实现光学元件支撑面的轴向高度可调；本发明结构简单、加工方便、成本低，且满足了支撑高度一致性，适用于深紫外投影物镜中光学元件的检测支撑结构和工况支撑结构。