等离子体放电装置
- 申请号:CN201220720322.X
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN202979452U
- 公开(公开)日:2013.06.05
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 等离子体放电装置 | ||
申请号 | CN201220720322.X | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN202979452U | 公开(授权)日 | 2013.06.05 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 贾少霞;张宸;杨景华;王守国 |
主分类号 | H05H1/46(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
专利有效期 | 等离子体放电装置 至等离子体放电装置 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型公开一种等离子体放电装置,包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳;所述射频电源与所述射频电极连接;放电装置在工作时,所述金属外壳接地;所述射频电极被介质阻挡层包覆;两个射频电极之间为等离子体喷口;所述匀气板位于所述介质阻挡层上方;所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口,到达所述等离子体喷口,并在常压下,电源接通后,在所述喷口处形成大面积的辉光等离子体,等离子体在气流的携带下向外喷出。本实用新型避免了散射性放电,提高了放电效率,提高了气流速率,增大等离子体喷出喷口的长度,降低了装置对被处理材料的形状等要求。 |
交易流程
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