专利详情

专利名称	基于ARM的嵌入式注入机控制系统
申请号	CN201110389219.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103137410A	公开（授权）日	2013.06.05
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋
主分类号	H01J37/317(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/317(2006.01)I;H01J37/304(2006.01)I
专利有效期	基于ARM的嵌入式注入机控制系统至基于ARM的嵌入式注入机控制系统	法律状态	公开
说明书摘要	本发明提供一种基于ARM的注入机控制系统包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、运行有注入机控制软件的上位机、真空控制系统、送片系统；所述真空控制系统在所述上位机的控制下，控制所述反应腔室、所述预抽腔室的真空度；所述反应腔室与所述预抽腔室连接；所述送片系统用于将硅片从所述预抽腔室运输至所述反应腔室，并将硅片运输至所述反应腔室内的离子反应位置；所述上位机是基于ARM的方式实现。本发明提供的基于ARM的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大面积的离子注入。