一种键合装置
- 申请号：CN201110378944.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN103137508A
- 公开(公开)日：2013.06.05
- 法律状态：专利申请权、专利权的转移
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专利详情
| 专利名称 | 一种键合装置 | ||
| 申请号 | CN201110378944.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103137508A | 公开（授权）日 | 2013.06.05 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 万里兮;郭学平;宋崇申 |
| 主分类号 | H01L21/603(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/603(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种键合装置 至一种键合装置 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种键合装置，包括：压力罩和贴合于所述压力罩开口处的弹性压力膜。由于弹性压力膜可以跟随所接触物体的表面而形变，以使弹性压力膜上的压强相同，因此弹性压力膜可以均匀的对第一待键合物施加压力。当第一待键合物由多个不同厚度的键合物组成时，本发明对这些不同厚度的键合物施加的压强也相同，因此它们的键合效果相同，可以提高产品的合格率。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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2、平台验证，实名审核
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4、专员跟进，交易保障
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