专利详情

专利名称	一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法
申请号	CN201310036160.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103134443A	公开（授权）日	2013.06.05
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	曹雷;陈洪斌;邱琪;任戈;亓波;陈兴龙;温正明
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I
专利有效期	一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法至一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法	法律状态	公开
说明书摘要	本发明提出了一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置，包括光源与聚光镜光轴同轴，聚光镜放置在光源的传播方向，分划板放在光源的像平面处，分光镜放置在分划板之后，光源提供的参考光经分光镜反射后向右传播至转折镜，物镜放置在转折镜之后，物镜和参考光的光轴同轴，参考光入射到被测反射镜后经反射先后经物镜、转折镜、分光镜后向左传播至电耦合器；一维旋转基座承载面形支撑调整机构，被测反射镜位于面形支撑调整机构上，面形支撑调整机构对被测反射镜进行局部调整，用以实现对被测反射镜在水平面内的平移和绕竖直轴的一维旋转，进而实现对被测反射镜的整个面形的扫描测量。本发明还提出一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测方法。