专利详情

专利名称	具有精密功率检测器的射频电源
申请号	CN201110389185.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103137408A	公开（授权）日	2013.06.05
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李勇滔;赵章琰;秦威;李英杰;夏洋
主分类号	H01J37/244(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/244(2006.01)I;H01J37/248(2006.01)I
专利有效期	具有精密功率检测器的射频电源至具有精密功率检测器的射频电源	法律状态	公开
说明书摘要	本发明公开了一种具有精密功率检测器的射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和精密功率检测器，精密功率检测器包括电压互感器、电流互感器、精密检波模块和集成有模数转换器和微处理单元的微控制器，电压互感器和电流互感器分别与精密检波模块相连，精密检波模块包括加法电路、减法电路、整流电路和滤波放大电路，加法电路和减法电路分别与整流电路相连，整流电路连接滤波放大电路，滤波放大电路与集成有模数转换器和微处理单元的微控制器相连。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小。