专利详情

专利名称	一种等离子氢处理制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法
申请号	CN201110396196.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103132006A	公开（授权）日	2013.06.05
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	邵花;王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔
主分类号	C23C4/12(2006.01)I	IPC主分类号	C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I
专利有效期	一种等离子氢处理制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法至一种等离子氢处理制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法	法律状态	公开
说明书摘要	本发明涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域，具体涉及一种等离子氢处理制备黑色Y2O3陶瓷涂层的方法。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y2O3涂层；步骤(4)，将步骤(4)中制备出的Y2O3涂层进行等离子体氢处理，即可得到黑色的Y2O3涂层。本发明利用等离子体氢还原法制备的黑色Y2O3涂层，具有耐刻蚀、耐脏的性能，且成本较低。

交易流程

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4、专员跟进，交易保障

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