光刻照明模式产生装置
- 申请号：CN201310092523.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103135369A
- 公开(公开)日：2013.06.05
- 法律状态：公开
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专利详情
| 专利名称 | 光刻照明模式产生装置 | ||
| 申请号 | CN201310092523.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103135369A | 公开（授权）日 | 2013.06.05 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱玲琳;张善华;曾爱军;黄惠杰 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻照明模式产生装置 至光刻照明模式产生装置 | 法律状态 | 公开 |
| 说明书摘要 | 一种光刻照明模式产生装置，该装置包括线起偏器、衍射光学元件、变焦镜组、偏振分光器、四分之一波片、凸锥形镜和平面反射镜，本发明无需使用凹锥形镜，减小了加工的难度，并且具有结构紧凑的特点。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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