专利详情

专利名称	低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器
申请号	CN201220672229.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203261565U	公开（授权）日	2013.10.30
申请（专利权）人	常州中科常泰等离子体科技有限公司;中国科学院南京土壤研究所	发明（设计）人	邵汉良;董元华;钱海波;缪琴
主分类号	H05H1/46(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/46(2006.01)I
专利有效期	低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器至低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器	法律状态
说明书摘要	低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器，包括等离子体处理装置，所述装置设于真空度可调的腔体内，该装置包括绝缘支架、放电装置、主动辊、从动辊、压辊和传送带，主动辊和从动辊通过轴承分别设于绝缘支架的两端，传送带设于主动辊和从动辊之上，压辊也通过轴承设于绝缘支架一端，将传送带压紧于主动辊上，放电装置设于绝缘支架上，传送带从放电装置的内部穿过。本装置通过对放电装置中的极板结构改进，增加了金属悬浮屏蔽外壳和绝缘填充材料，阻止了极板与腔体内壁之间的放电，并使其产生位移电流，增强了等离子体的活性。