专利详情

专利名称	一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统
申请号	CN201210132572.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103376343A	公开（授权）日	2013.10.30
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	阮存军;李庆生;吴迅雷;李崇山;李彦峰
主分类号	G01R1/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01R1/28(2006.01)I;H01J3/02(2006.01)I
专利有效期	一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统至一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统，包括一个主真空腔体和位于主真空腔体内的电子枪，所述主真空腔体横向水平安置。所述电子枪系统还包括一个同心轴组件，其从所述主真空腔体的后端水平插入，并且，其一端位于所述主真空腔体内，另一端延伸于所述主真空腔体)外。所述电子枪包括一个阳极、一个阴极和一个栅极，且所述阴极和所述栅极安装在所述同心轴组件上。本发明可以实现强流电子枪系统各电极之间距离在热测过程中独立调节，可以通过优化实验设计得到最佳电子枪系统几何参数，这比目前分析器电子枪系统成百倍地节省时间、人力、物力。并且，本发明的电子枪可加到100kV，并能横向接入大型强流电子注分析仪中使用。