一种非破坏性检测表面形貌的方法
- 申请号：CN201210090888.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：国家纳米科学中心
- 公开(公开)号：CN103363946A
- 公开(公开)日：2013.10.23
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种非破坏性检测表面形貌的方法 | ||
| 申请号 | CN201210090888.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103363946A | 公开（授权）日 | 2013.10.23 |
| 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 宫建茹;崔金磊 |
| 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/20(2006.01)I;G01B21/30(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种非破坏性检测表面形貌的方法 至一种非破坏性检测表面形貌的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种非破坏性检测表面形貌的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)将紫外感光材料涂覆在待测物体的表面；2)采用紫外光照射使所述紫外感光材料固化，然后将固化后的紫外感光材料剥离，得到拓印膜；3)使用原子力显微镜扫描所述拓印膜，得到拓印膜的表面形貌；4)将所述拓印膜的表面形貌进行数据翻转，得到待测物体的表面形貌。 | ||
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