专利详情

专利名称	一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器
申请号	CN201210092230.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103367473A	公开（授权）日	2013.10.23
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	郭旭光;曹俊诚;张戎;张真真;谭智勇
主分类号	H01L31/0232(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0232(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I
专利有效期	一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器至一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器，包括：半导体衬底、金属反射层、多量子阱结构、以及金属光栅。所述金属光栅、多量子阱结构与金属反射层组成法布里-珀罗结构的金属共振微腔，调整所述金属光栅的周期、金属条的宽度以及多量子阱结构的厚度，使入射光子在腔体内形成符合法布里-珀罗结构的共振模，可以在金属共振微腔中形成强场区，提高了入射光的有效强度，进而提高器件的响应率、探测灵敏度和工作温度。本发明结构简单，效果显著，实用性强，适用于工业生产。