专利详情

专利名称	一种极紫外辐照材料测试系统
申请号	CN201310319441.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103364401A	公开（授权）日	2013.10.23
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;吴晓斌;谢婉露;张罗莎;罗艳;王魁波
主分类号	G01N21/84(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/84(2006.01)I
专利有效期	一种极紫外辐照材料测试系统至一种极紫外辐照材料测试系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种极紫外辐照材料测试系统，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，收集镜用于将EUV辐照汇聚到样品室中；光谱检测室用于安装一个反射镜和一个光谱仪，反射镜用于将来自收集镜室的EUV辐照反射到光谱议；样品室用于容纳所要测试的样品、CCD和能量计，并且能够使样品、CCD和能量计轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。本发明能够得到不同样品的极紫外辐照损伤情况。