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光栅分布反馈量子级联激光器

  • 申请号:CN201310308727.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN103368071A
  • 公开(公开)日:2013.10.23
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 光栅分布反馈量子级联激光器
申请号 CN201310308727.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103368071A 公开(授权)日 2013.10.23
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 张锦川;刘峰奇;卓宁;王利军;刘俊岐;王占国
主分类号 H01S5/125(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/125(2006.01)I;H01S5/20(2006.01)I
专利有效期 光栅分布反馈量子级联激光器 至光栅分布反馈量子级联激光器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供了一种光栅分布反馈量子级联激光器。该光栅分布式量子级联激光器包括:衬底;以及在该衬底上依次生长的下波导层,下光限制层,有源区,上光限制层,等效相移光栅,上波导层;其中,在所述上光限制层的上表面具有等效相移光栅,该等效相移光栅包括均匀光栅、采样光栅和π相移结构。与传统均匀光栅的制作工艺相比,本发明等效相移光栅制作工艺要简单的多,从而极大降低了光栅分布反馈量子级联激光器的制备难度。

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