
光栅分布反馈量子级联激光器
- 申请号:CN201310308727.1
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号:CN103368071A
- 公开(公开)日:2013.10.23
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 光栅分布反馈量子级联激光器 | ||
申请号 | CN201310308727.1 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103368071A | 公开(授权)日 | 2013.10.23 |
申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 张锦川;刘峰奇;卓宁;王利军;刘俊岐;王占国 |
主分类号 | H01S5/125(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/125(2006.01)I;H01S5/20(2006.01)I |
专利有效期 | 光栅分布反馈量子级联激光器 至光栅分布反馈量子级联激光器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明提供了一种光栅分布反馈量子级联激光器。该光栅分布式量子级联激光器包括:衬底;以及在该衬底上依次生长的下波导层,下光限制层,有源区,上光限制层,等效相移光栅,上波导层;其中,在所述上光限制层的上表面具有等效相移光栅,该等效相移光栅包括均匀光栅、采样光栅和π相移结构。与传统均匀光栅的制作工艺相比,本发明等效相移光栅制作工艺要简单的多,从而极大降低了光栅分布反馈量子级联激光器的制备难度。 |
交易流程
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