专利详情

专利名称	一种螺旋气流动态气体锁
申请号	CN201310343253.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103365119A	公开（授权）日	2013.10.23
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;王宇;吴晓斌;王魁波;谢婉露;罗艳;张罗莎
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种螺旋气流动态气体锁至一种螺旋气流动态气体锁	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种螺旋气流动态气体锁，用于连通第一腔室和第二腔室并阻止第二腔室内的物质进入第一腔室，动态气体锁包括一两端开口的筒身，筒身具有一宽口端和一窄口端，宽口端连接第一腔室，窄口端连接第二腔室；筒身的靠近窄口端的侧面包括多个用于向筒身内部喷气的螺旋气流喷口，该多个螺旋气流喷口所喷出的气流能够围绕筒身的中心轴进行旋转，产生螺旋气流，螺旋气流汇聚到筒身的中心轴附近；筒身的靠近宽口端的侧面包括至少一个用于向筒身内部喷气的补气气流喷口，补气气流喷口吹向螺旋气流喷口在筒身的中心轴上的投影点之间。本发明可用于极紫外光刻机，在抑制杂质扩散的同时，更好的确保极紫外辐照接近无损的通过动态气体锁。