光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法
- 申请号：CN201310307284.4
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103365118A
- 公开(公开)日：2013.10.23
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 | ||
| 申请号 | CN201310307284.4 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103365118A | 公开（授权）日 | 2013.10.23 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 黄立华;王俊;侯莉颖;彭雪峰;任冰强;曾爱军;黄惠杰 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 至光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具有系统结构简单、操作方便、能有效、快速地对光束监测系统的光束位置和指向测量光路进行标定。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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平台保障
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