专利详情

专利名称	一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置
申请号	CN201320268368.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203241699U	公开（授权）日	2013.10.16
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王宇;张罗莎;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;谢婉露
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;H05G2/00(2006.01)I
专利有效期	一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置至一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括腔体，该腔体具有一个导管，该导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部；转轮，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管垂直，并且，该转轮与导管对准，以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面，并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本实用新型能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径，保证发光稳定性，有效控制发光过程中的系统污染。