专利详情

专利名称	一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置
申请号	CN201310334223.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103354694A	公开（授权）日	2013.10.16
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王宇;谢婉露;吴晓斌;张罗莎;陈进新;王魁波;罗艳
主分类号	H05G2/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05G2/00(2006.01)I
专利有效期	一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置至一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置，所述金属液滴帘包括从上至下运动的多条金属液滴串，每条金属液滴串由具有一定间隔的金属液滴组成。所述降低碎屑的装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，该所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本发明能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。