专利详情

专利名称	一种三自由度纳米定位微动硅片台
申请号	CN201310270299.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103345126A	公开（授权）日	2013.10.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	周清华
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种三自由度纳米定位微动硅片台至一种三自由度纳米定位微动硅片台	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种三自由度纳米定位微动硅片台，包括底板，支撑机构，柔性导向板，驱动电机，方镜，吸盘和干涉仪；底板为整个硅片台的基座；柔性导向板通过内部特殊导向簧片，实现单层三自由度运动，即X，Y和θz三个运动方向的导向作用，中间通过支撑机构与底板连接；驱动电机安装在柔性导向板内，提供驱动动力；方镜固定在柔性导向板上，侧面布置三轴干涉仪，完成位移反馈，实现系统闭环；方镜上放置吸盘，吸盘上放置硅片，由此组成一个高精度微动硅片台。采用独特的柔性导向板设计，使得三自由度运动在一个层次上实现，进而使结构紧凑，高度尺寸小；且用簧片导向，干涉仪测量，能实现数纳米级的定位精度，满足32nm技术节点硅片台定位需求。