专利详情

专利名称	一种加工弯月型薄镜镜面的柔性支撑系统
申请号	CN201310286565.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103341806A	公开（授权）日	2013.10.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	范斌;王洪桥;吴永前
主分类号	B24B13/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B13/00(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I
专利有效期	一种加工弯月型薄镜镜面的柔性支撑系统至一种加工弯月型薄镜镜面的柔性支撑系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种加工弯月型薄镜镜面的柔性支撑系统，含有面形检测装置、待加工反射镜、力传感器、柔性支撑、气压驱动器、气压控制器、气泵、计算机及能动磨盘；面形检测装置位于待加工反射镜上方；每个气压控制器的输入端分别与气泵连接，每两个气压控制器的输出端分别与每个气压驱动器连接；计算机与气泵连接；每个气压驱动器与气泵连接；柔性支撑位于力传感器下面和气压驱动器上方；力传感器的上部与待加工反射镜的底部固定连接；能动磨盘位于待加工反射镜的表面；计算机分别连接面形检测装置、各气压控制器和力传感器相连，随着的进行力传感器实时将加工过程数据传回计算机与气压驱动支撑装置结合成闭环控制。