专利详情

专利名称	基于锁相环滤波和计时器消除非线性误差的光外差干涉法
申请号	CN201310231608.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103344175A	公开（授权）日	2013.10.09
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	孙强;李也凡
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	基于锁相环滤波和计时器消除非线性误差的光外差干涉法至基于锁相环滤波和计时器消除非线性误差的光外差干涉法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于锁相环滤波和计时器消除非线性误差的光外差干涉法属于光外差干涉领域，该方法是在存在着非线性误差干扰成分的光路上，设法获得至少3路信号并使其中至少3路中各自的非线性误差干扰成分，在要被消除的信号频率成分上的相位角在一个对应的圆周角范围内各不相同，并且在模拟电信号通道中采用锁相环滤波器对信号进行滤波，采用计时计数器分别对不少于3路信号的相角进行检测，测得每路测量信号和参考信号的特定相位之间所差的时间，然后换算成相位差，由位移计算部分计算出位移量之后再进行后续处理来消除或抑制干扰成分。本发明可消除非线性误差或干扰的特定谐波成份，调整过程非常容易，提高了系统性能，降低了成本。