专利详情

专利名称	一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法
申请号	CN201310279661.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103345129A	公开（授权）日	2013.10.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	邢莎莎;廖志杰;林妩媚
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法至一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻机中照明全系统及各组件透过率测量方法，测量装置包括光源，能量衰减装置，光路分离元件，待测光学元件，光束接收与探测单元，数据处理和控制系统。实现步骤：用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参考光路；用示波器记录多组测试光路和参考光路的光电探测器输出电压数据，采用分别将相邻两次测量结果进行数据处理，最后将整组数据求和平均的方法求出待测光学组件的透过率。采用本发明方法测量光刻机中照明全系统及各组件的透过率，具有较高的测量精度和测量多功能性。