专利详情

专利名称	一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器
申请号	CN201310280860.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103336330A	公开（授权）日	2013.10.02
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	费永浩;陈少武
主分类号	G02B6/122(2006.01)I	IPC主分类号	G02B6/122(2006.01)I;G02B6/126(2006.01)I
专利有效期	一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器至一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于非对称垂直狭缝(slot)波导的偏振旋转器，其包括：入射端波导，其用于导入外部入射的光；模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；出射端波导，其用于导出TM/TE模；其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。该结构在纵向上打破了材料的对称性，横向上打破了几何尺寸的对称性，从而使得特定波导中的本征模式是混合模式，两个本征混合模式之间可以实现相互转化，最终实现TE模和TM模之间的相互转化。该偏振旋转器可以利用一次刻蚀将TE/TM转化为TM/TE模，大大减小了器件制作难度。