专利详情

专利名称	一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法
申请号	CN201310284506.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103335615A	公开（授权）日	2013.10.02
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李世杰;陈强;闫锋涛;范斌;万勇建;侯溪
主分类号	G01B11/27(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/27(2006.01)I
专利有效期	一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法至一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法，包括在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件，将计算全息图固定在小五维调整架上，将被测光学元件固定在大五维调整架上；将计算全息图放置在标准镜头的焦点后面的设计位置处，来自干涉仪内部的光束经过标准镜头后入射到计算全息图上，使发散球面波前变为会聚球面波前，在被测光学元件的光轴方向位置处形成一个会聚焦点；当会聚球面波前照射到被测光学元件上后，将沿着对称光路位置返回，从而使会聚球面波前与干涉仪中的参考波前形成干涉条纹，通过对干涉条纹的监控，调节大五维调整架，将被测光学元件的在光轴方向位置控制在波长量级。