专利详情

专利名称	一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法
申请号	CN201310254046.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103336429A	公开（授权）日	2013.10.02
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	田大鹏
主分类号	G05B13/00(2006.01)I	IPC主分类号	G05B13/00(2006.01)I
专利有效期	一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法至一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法，涉及高精度微机电系统与伺服技术领域，解决现有压电陶瓷执行器控制方法的不足，包括压电陶瓷线性化干扰观测器、反馈控制器、以及线性前馈；所述压电陶瓷线性化干扰观测器将压电陶瓷非线性迟滞、外界干扰、惯性力其它未建模动态等因素统一折合为等效干扰，实现该等效干扰的观测与补偿，从而保证压电陶瓷执行器响应特性的线性化；反馈控制器包含积分环节与二重积分环节，保证压电陶瓷执行器对指令的跟踪精度；所述线性前馈根据线性化的压电陶瓷执行器特性，将位置指令直接作用在压电陶瓷执行器上，提高执行器的动态性能。本发明不依靠非线性迟滞模型，且简单、可靠，提高了压电陶瓷执行器的伺服精度。