专利详情

专利名称	大口径凸高次非球面的检测系统
申请号	CN201310303322.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103335610A	公开（授权）日	2013.10.02
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	范斌;闫锋涛;侯溪;陈强;万勇建;伍凡
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	大口径凸高次非球面的检测系统至大口径凸高次非球面的检测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是大口径凸高次非球面的检测系统，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和凸高次非球面构成的光学系统的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出光波经过计算全息片后，由凸高次非球面镜反射后成为标准球面波并经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪中，实现对所述凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，相移干涉仪获得所述凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，计算机中的数据处理单元对子区域数据进行处理，得到所述凸高次非球面的全口径面形分布信息；本发明还提供一种凸球面镜或凸非球面镜的检测装置。