专利详情

专利名称	真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
申请号	CN201310275992.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103335795A	公开（授权）日	2013.10.02
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;张罗莎;罗艳;谢婉露
主分类号	G01M3/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01M3/26(2006.01)I
专利有效期	真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法至真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法，该测量系统包括超高真空室(2)、测试室(6)、样品室(7)，超高真空室(2)与测试室(6)通过小孔(4)相连通，测试室(6)通过气体管道(14)与样品室(7)相连接。第一抽气泵组(1)从该超高真空室(2)中抽取气体；样品室(7)用于放置真空密封件(8)。第一质谱计(3)和第二质谱计(5)测量该超高真空室(2)和测试室(6)内的气体成分的分压。本发明通过两个质谱计在系统平衡状态下测量真空密封件在充气和真空两种状态下对于特定气体组分的分压，可以直接计算得到该真空密封件对该气体组分的分压漏率。