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环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置

  • 申请号:CN201310261124.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN103322939A
  • 公开(公开)日:2013.09.25
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置
申请号 CN201310261124.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103322939A 公开(授权)日 2013.09.25
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 徐学科;单海洋;刘小颂;杨明红;朱宝钤;张宝安;贺洪波;邵建达
主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I
专利有效期 环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置 至环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置,构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形,具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。

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