专利详情

专利名称	基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统
申请号	CN201310250038.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103323435A	公开（授权）日	2013.09.25
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	万雄
主分类号	G01N21/63(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/63(2006.01)I
专利有效期	基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统至基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本专利公开了一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统。它采用比例分光镜把脉冲激光分为两路，一路经过散焦光路，另一路经过延时聚焦光路。经过散焦光路的第一路激光脉冲在样品靶材表面上预烧蚀产生一定直径的圆形平整表面，然后由经过延时聚焦光路的第二路激光脉冲在该平整表面上准确聚焦激发LIBS效应。该双脉冲散焦预烧蚀LIBS系统可有效消除传统LIBS中烧蚀孔效应的影响，从而提高LIBS探测的精度。