专利详情

专利名称	伸缩谐振式三维电场传感器
申请号	CN201210071588.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103308781A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	夏善红;王宇;方东明;彭春荣
主分类号	G01R29/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01R29/12(2006.01)I
专利有效期	伸缩谐振式三维电场传感器至伸缩谐振式三维电场传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种伸缩谐振式三维电场传感器。该伸缩谐振式三维电场传感器包括：衬底；梁式结构框架；X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元，位于衬底上，分别用于测量电场强度矢量的X方向、Y方向和Z方向的分量，均包括屏蔽电极和感应电极，至少一组驱动机构，与X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配，用于对该屏蔽电极产生驱动力，使其相对于感应电极产生振动，并且该振动通过梁式结构框架传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元。本发明伸缩谐振式三维电场传感器只需加载一组激励信号便可驱动三个电场测量单元中电极的振动，从而实现电场矢量三个不同分量的测量。