专利详情

专利名称	光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法
申请号	CN201310227449.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103309175A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	张方;朱菁;杨宝喜;黄惠杰;黄立华;曾爱军;胡小邦;刘蕾;张佩;肖艳芬;陈明
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法至光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。