专利详情

专利名称	一种等臂长外差式激光干涉测距系统
申请号	CN201310231028.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103307985A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院力学研究所	发明（设计）人	李玉琼;靳刚;罗子人;刘河山;董玉辉
主分类号	G01B11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	一种等臂长外差式激光干涉测距系统至一种等臂长外差式激光干涉测距系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种等臂长外差式激光干涉测距系统，至少包括：隔振系统，用于将外界的低频率噪声进行隔离与过滤，消除系统的震动噪声；真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声；光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率；干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息；相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测，对相位信息进行采集，并反演位移，反映干涉系统在各个频段上的测距精度。本发明可消除激光器频率不稳定性、各类噪声源对测距精度的影响，实现了长周期皮米量级的测量精度。