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一种用于检测密闭环境温度变化的方法

  • 申请号:CN201310186172.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN103308204A
  • 公开(公开)日:2013.09.18
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于检测密闭环境温度变化的方法
申请号 CN201310186172.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103308204A 公开(授权)日 2013.09.18
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 晏诗恋;林学春;侯玮;于海娟;赵树森;孙伟;李梦龙
主分类号 G01K7/16(2006.01)I IPC主分类号 G01K7/16(2006.01)I
专利有效期 一种用于检测密闭环境温度变化的方法 至一种用于检测密闭环境温度变化的方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种用于检测密闭环境温度变化的方法,主要采用激光直写的方式制作出一种温度传感器,温度传感器包括衬底和导电材料两个部分,根据导电材料的电阻率随密闭环境变化可得知其温度变化。利用本发明,能够及时、方便地检测密闭环境的温度变化,与其他传统方法相比,成本低廉,便于操作。

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