专利详情

专利名称	旋转谐振式三维电场传感器
申请号	CN201210071769.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103308782A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	夏善红;王宇;方东明;彭春荣
主分类号	G01R29/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01R29/12(2006.01)I
专利有效期	旋转谐振式三维电场传感器至旋转谐振式三维电场传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种旋转谐振式三维电场传感器。该传感器包括：衬底；Z方向电场测量单元，位于传感器的中心位置，用于测量电场强度矢量的Z方向分量，包括屏蔽电极和感应电极；X方向电场测量单元和Y方向测量单元，位于衬底上Z方向电场测量单元的外围，其对称轴相互成90°设置，分别用于测量电场强度矢量的X方向和Y方向分量，均包括屏蔽电极和感应电极；至少一组驱动机构，与X方向电场测量单元和Y方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配，用于对该屏蔽电极产生驱动力，使其相对于感应电极产生振动，并且该振动传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元的屏蔽电极。本发明旋转谐振式三维电场传感器能够同时测量电场矢量的三个分量大小。