专利详情

专利名称	一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置
申请号	CN201310220604.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103308002A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	林学春;杨盈莹;赵伟芳;王文婷;伊肖静;张玲;于海娟
主分类号	G01B11/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/26(2006.01)I
专利有效期	一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置至一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置，包括：装置主体支架，用于固定和连接第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二孔径光阑，以及第二平面反射镜与孔径光阑组合结构；第一待校准平行光路，用于发射观察光束；第一孔径光阑，用于限制观察光束的光束口径；第一平面反射镜与孔径光阑组合结构，用于确定经第一孔径光阑的观察光束的传播路径；第二平面反射镜与孔径光阑组合结构，用于确定从第一平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束传播路径；第二孔径光阑，用于限制从第二平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束的光束口径；第二待校准平行光路，用于接收经第二孔径光阑的观察光束。