专利详情

专利名称	含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
申请号	CN201210156675.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103304385A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院化学研究所	发明（设计）人	杨国强;许箭;陈力;王双青;李沙瑜
主分类号	C07C43/205(2006.01)I	IPC主分类号	C07C43/205(2006.01)I;C07C41/30(2006.01)I;C07C39/15(2006.01)I;C07C37/055(2006.01)I;C07C69/96(2006.01)I;C07C68/06(2006.01)I;C07C43/21(2006.01)I;C07C39/17(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用至含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一系列基于双酚A为主体结构的分子玻璃光刻胶（I和II）及其制备。将该分子玻璃光刻胶与光酸产生剂、交联剂、光刻胶溶剂和其他添加剂复配成正性或负性光刻胶，在硅片上通过旋涂法可制得厚度均匀的光刻胶涂层。该光刻胶配方可用于248nm光刻、193nm光刻、极紫外光刻、纳米压印光刻及电子束光刻等现代光刻技术中，尤其适合使用于极紫外（EUV）光刻工艺中。