专利详情

专利名称	以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃光刻胶
申请号	CN201210070713.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103304521A	公开（授权）日	2013.09.18
申请（专利权）人	中国科学院化学研究所	发明（设计）人	杨国强;陈力;许箭;王双青;李沙瑜
主分类号	C07D307/42(2006.01)I	IPC主分类号	C07D307/42(2006.01)I;C07D207/333(2006.01)I;C07D333/16(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I
专利有效期	以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃光刻胶至以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃光刻胶	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了通式(I)或(II)的以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃，以及以上述分子玻璃作为基体成分的光刻胶组合物，其包括：选自通式(I)或(II)中的一种或多种的基体成分、光致产酸剂、有机碱和有机溶剂。本发明的光刻胶组合物为化学放大的正性光刻胶，适合在极紫外线(13.5nm)、电子束下曝光，在碱性显影液中显影。由本发明的光刻胶组合物制备的薄膜具有良好的分辨率、光敏性、粘附性，且易于保存。