专利详情

专利名称	用于柔性衬底上有机薄膜器件制备的集成装置
申请号	CN201210046050.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103290363A	公开（授权）日	2013.09.11
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	江潮;张一伟;李德兴
主分类号	C23C14/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I
专利有效期	用于柔性衬底上有机薄膜器件制备的集成装置至用于柔性衬底上有机薄膜器件制备的集成装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于柔性衬底上有机薄膜器件制备的集成装置，该集成装置包括驱动控制单元、用于制备加工作业的手套箱(1)和用于真空热蒸镀作业的蒸镀室(3)，所述蒸镀室内安装有用于固定安装柔性衬底的蒸镀滚筒(31)，其中该装置还包括在所述蒸镀室和手套箱之间设置的过渡舱(2)，所述蒸镀室、过渡舱和手套箱之间能够依次连通并形成与外界相隔的全封闭环境，并且在所述全封闭环境内设置有传送机构，在所述过渡舱的外壁上设置有手套(21)，通过操作所述手套，能够使所述蒸镀滚筒脱离样品台车并连接于所述传送机构上，并在所述驱动控制单元的作用下达到蒸镀滚筒及贴附其上的大面积柔性样品在所述蒸镀室和手套箱之间进行传送之目的。