专利详情

专利名称	三维热电能量收集器及其制作方法
申请号	CN201210048653.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103296190A	公开（授权）日	2013.09.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	徐德辉;熊斌;王跃林
主分类号	H01L35/14(2006.01)I	IPC主分类号	H01L35/14(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L27/16(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I
专利有效期	三维热电能量收集器及其制作方法至三维热电能量收集器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种三维热电能量收集器及其制作方法，通过在低阻硅上刻蚀出多个凹槽及凹槽之间的硅柱，然后在凹槽表面形成绝缘层，并通过薄膜沉积技术制作热电柱，藉由所述热电柱与相邻的硅柱组成热电偶对，接着通过刻蚀沉积等工艺制作金属布线，衬底减薄、键合支撑衬底等工艺完成所述三维热电能量收集器的制作。本发明只需一次薄膜沉积工艺就完成了热电偶对结构的制作，简化了制作工艺。选择硅作为热电偶对的一种组分，保证了热电偶具有较高的塞贝克系数。采用垂直的柱形结构热电偶对，提高了热电能量收集器的机械稳定性。通过圆片级键合将热电偶结构和上下支撑衬底进行键合，提高了制作效率。