X射线探测器及其制造方法
- 申请号：CN201210050416.5
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN103296036A
- 公开(公开)日：2013.09.11
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | X射线探测器及其制造方法 | ||
| 申请号 | CN201210050416.5 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103296036A | 公开（授权）日 | 2013.09.11 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 殷华湘;王玉光;董立军;陈大鹏 |
| 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/146(2006.01)I;G01T1/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | X射线探测器及其制造方法 至X射线探测器及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本申请公开了一种X射线探测器及其制造方法。该X射线探测器，包括：互连基板；穿透互连基板并在其两个主表面上露出的键合互连；与互连基板的一个主表面键合的光电转换器件芯片；以及与互连基板的另一个主表面键合的CMOS像素读出芯片，其中，键合互连将光电转换器件芯片的焊盘与CMOS像素读出芯片的焊盘电连接。根据本发明的X射线探测器可以简化工艺、提高可靠性和成品率。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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