专利详情

专利名称	微型热电能量收集器及其制作方法
申请号	CN201210049164.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103296191A	公开（授权）日	2013.09.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	徐德辉;熊斌;王跃林
主分类号	H01L35/34(2006.01)I	IPC主分类号	H01L35/34(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I
专利有效期	微型热电能量收集器及其制作方法至微型热电能量收集器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微型热电能量收集器及其制作方法，在低阻硅衬底上制作环状沟槽以围成硅热电柱结构，然后在环状沟槽制作绝缘层，再对其填充热电材料以形成环形热电柱结构，然后制作金属布线、保护层以及支撑衬底等以完成制作。本发明的硅热电柱结构直接采用硅基底材料制作，简化了制作工艺。本发明只需一次薄膜沉积工艺就完成了热电偶结构的制作，简化了制作工艺。选择了硅作为热电偶的一种组分，保证了热电偶具有较高的塞贝克系数。采用垂直的柱形结构热电偶，避免了悬浮微结构，提高了热电能量收集器的机械稳定性。通过圆片级键合将热电偶结构和上下支撑衬底进行键合，提高了制作效率。