专利详情

专利名称	一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器
申请号	CN201310268418.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103293715A	公开（授权）日	2013.09.11
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	费永浩;陈少武
主分类号	G02F1/01(2006.01)I	IPC主分类号	G02F1/01(2006.01)I
专利有效期	一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器至一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器，其包括：入射波导，其为直波导，用于接收入射光和输出出射光；弯曲波导，其与入射波导近距离设置，使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导，且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出；马赫曾德尔干涉仪结构，其输入端与弯曲波导的输入端相连，其输出端与弯曲波导的输出端相连，以形成微环谐振腔，且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极，其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压，以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。本发明通过在微环非耦合区加入了MZI结构，利用微环临界耦合和非临界耦合状态的转换完成对入射光的调制。