专利详情

专利名称	一种球面面形误差绝对检测方法
申请号	CN201310259595.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103292738A	公开（授权）日	2013.09.11
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	宋伟红;侯溪;李世芳;赵文川;吴高峰;徐燕;毛洁;吴永前;万勇建
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种球面面形误差绝对检测方法至一种球面面形误差绝对检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Zernike多项式系数，从而获得被测球面和参考面的绝对面形信息。该方法同样也可用于平面面形误差的检测。由于该方法采用了全局优化的思路同时解算被测球面和参考面的多项式系数，因而更能抑制系统误差和随机噪声，抗干扰性更强，具有重要的应用价值。