专利详情

专利名称	一种提高准分子激光器输出能量的复合腔
申请号	CN201220708635.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203180306U	公开（授权）日	2013.09.04
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	周翊;单耀莹;范元媛;宋兴亮;张立佳;崔惠绒;王宇
主分类号	H01S3/22(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/22(2006.01)I;H01S3/08(2006.01)I
专利有效期	一种提高准分子激光器输出能量的复合腔至一种提高准分子激光器输出能量的复合腔	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种提高准分子激光器输出能量的复合腔，包括准分子激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和激光放大模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔，用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大。本实用新型不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且通过复合腔的设计，可以提高输出激光的能量及稳定性，同时本实用新型的复合腔结构简单，便于加工，调谐方便。